朗道燧岩首秀EUV光源样机，国产化率90%距量产3-5年

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   IT之家

   朗道燧岩 EUV 光源系统样机 2026 工博会首秀：国产化率达 90%，距量产仍需 3~5 年

   朗道燧岩在 2026 工博会首次展示极紫外（EUV）光源系统样机，国产化率达 90%。该样机技术路线与国际领先厂商一致，可用于芯片曝光测试。尽管标志着国产 EUV 光源从实验室走向产业化，但距离量产仍需 3 至 5 年，核心挑战在于提升输出功率和长期运行稳定性。

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